论文部分内容阅读
有源穿戴电子和植入式电子设备都需要进行电源供电,传统的基于机械振动形式的压电悬臂梁结构虽然能实现高效的压电转换效率,但是很难与现有的柔性电子器件集成。因此,柔性可拉伸压电能量收集器是柔性电子器件的关键组成部分。为了克服无机压电材料脆性的缺点,本文研究可拉伸蜿蜒结构的叉指电极设计方法,采用光刻等工艺在MgO硬质基底上制备PZT压电薄膜结构,随后转印到弹性可拉伸基底PDMS上,制备出柔性可拉伸压电能量收集器,并集成到人体皮肤上进行应用。主要内容如下:首先,讨论了压电效应、PZT压电材料及其工作模式,得出