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采用蒸镀、直流磁控溅射法在Q235钢基体上制备出铝及铝合金薄膜,并就前处理、蒸镀及磁控溅射工艺对铝薄膜的表面形貌、结构、耐蚀性及结合力等性能的影响进行了研究。采用蒸镀、直流磁控溅射法制备铝及铝合金薄膜是可行的;有效的前处理工艺能够提高薄膜质量,有助于获得连续致密、耐蚀性好的铝薄膜。蒸镀铝薄膜的表面形貌随薄厚度及蒸发速率的增大呈现不规则的网状生长特性,表面逐渐趋于平整均匀、光滑致密;铝薄膜与碳钢基体间的结合力均在60N以上,结合力良好;在3.5%NaCl的水溶液中,铝薄膜的极化阻力均在4.0×103?·cm2以上,远大于低碳钢的极化阻力1000?·cm2,说明薄膜对钢基体有良好的保护作用。为改善薄膜性能,研究了退火处理对薄膜性能的影响。结果表明,退火后,薄膜的晶格常数变小;退火处理降低了铝薄膜的耐蚀性,但却使厚铝薄膜的耐蚀性得到一定程度的改善;薄膜的结合力略有降低。与纯铝薄膜相比,Al-Mn合金薄膜的衍射峰向高衍射角方向偏移。Al-Mn合金薄膜的耐蚀性能大约是纯铝薄膜的五倍,可达5.0×104?·cm2。加入锰后,薄膜的结合力略低于纯铝薄膜。磁控溅射法制备的铝薄膜表面光滑、致密、均匀,呈球状颗粒生长。相同厚度下,磁控溅射纯铝薄膜的耐蚀性能优于蒸镀纯铝薄膜的耐蚀性能,最高可达3.7×104?·cm2,能够很好保护钢基体。磁控溅射纯铝薄膜的结合力在64N以上、优于蒸镀纯铝薄膜。磁控溅射Al-Mg合金薄膜的表面光滑、均匀、致密,呈球状颗粒生长,晶粒随靶材电流及厚度的增大而增大。镁含量亦随靶材电流及厚度的增加而增高。Al-Mg合金薄膜沉积的最佳靶材电流为0.1A。薄膜的耐蚀性能随靶材电流的变化呈先增大后减小的规律,随厚度的增大逐渐增大。