IC封测设备故障诊断、维护及规避技术研究

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IC封测设备故障解决系统的研究与设计在IC封测领域有深刻的研究意义,同时也是提高IC封测设备性能的关键技术。在综合分析归纳了在故障处理方面的研究现状和存在问题后,本文以减少IC封测设备故障停机时间为目的,将故障诊断、故障维护和故障规避的研究融合成一个体系,分别从这三个角度去研究IC封测设备减少故障停机时间的办法。本文首先针对IC封测设备的研究和生产现状,采用基于故障树分析法的故障诊断方法解决了封测设备故障快速诊断的问题,然后利用基于案例的推理方式解决了故障维护方案快速推理的问题,缩短了故障维护等待时间,最后通过记录工程师设计过程知识的方法解决了故障规避的问题,从根本上减少故障的发生。本文以降低IC封测设备故障停机时间为目标,研究了故障诊断、故障及时维护和故障规避的方法,并实际搭建了相关系统。本文主要研究内容包括:(1)基于故障树分析法的IC封测设备故障诊断研究:探讨了故障树建立的方法,并以国内某公司的IC封测设备为例,分析了其主要模块的故障原因,并实际建立了IC封测设备关键模块的故障树。同时,提出了基于规则的故障树合成法,简化了故障树的合成。对IC封测设备故障树进行定性,通过求解其故障树顶事件的最小割集,缩小了故障检测目标的范围。然后,通过对故障树进行定量分析,求解出各最小割集的重要程度并依此安排检测顺序,提高了检测目标选择的精准度。通过基于产生式规则的推理方法,实现故障树顶事件最小割集的自动推理。(2)基于案例推理的IC封测设备故障维护建议研究:提出将基于案例推理的方法应用于故障维护建议方法,通过匹配相似案例,修正并重用其中的维护方案,简化了故障维护方案的设计过程,缩短故障维护方案设计的时间,实现故障的及时维护。提出了维护方案的主动推广和被动推广的概念,利用基于案例的推理系统实现故障维护方案的被动推广,并提出了将设备故障维护方案主动推广的方法。基于案例匹配方法,提出了在案例相似度比较过程中建立机型相似关系的方法,实现了维护方案的在相似机型中的主动和被动推广(3)基于设计理性的IC封测设备设计故障规避研究:针对设计过程中引入的故障问题,提出了基于设计理性的故障诱因提示方法。对IC封测设备设计修改中引入的故障诱因分析并分类,分别采用在同步记录和异步收集两种方法实现对设计过程知识的获取,并在三维设计软件中实现了设计过程知识的表征。
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