一种六自由度微位移测量系统的研究

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针对当今制造业多自由度位移测量的方法测量自由度少,安装调试困难等特点,提出利用永磁体产生的空间磁场信息进行多自由度位移解算的方法。在建立了永磁体磁场分布模型的基础上利用有限元仿真数据绘出磁场分布图比较磁场分布特点;之后利用顺序求解方法实现了六自由度的位移解算并仿真验证该解算算法的正确性与可行性;最后在现有的多自由度运动平台的基础上搭建了一套六自由度位移测量系统基本实现空间六自由度的位移测量功能。本论文所建立的测量系统可实现空间六自由度精密测量,具有结构尺寸小、成本低的优点。具体工作如下:首先选择合适
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