【摘 要】
：
本论文研究的主要内容是设计一套用于超光滑表面的多光束干涉显微测头。系统主要部分为光学结构部分，辅助部分为信号处理电路部分。光学测头最重要的性能之一是系统的分辨力，而光学结构是保证系统分辨力的核心。光学结构分为两个部分进行设计：1）多光束干涉；2）共焦显微。其中多光束干涉用于保证系统的轴向分辨力，共焦显微技术用于快速准确的寻找系统工作区域和为下一步的横向分辨力测试做技术积累。信号处理电路分为三种：1
论文部分内容阅读
本论文研究的主要内容是设计一套用于超光滑表面的多光束干涉显微测头。系统主要部分为光学结构部分，辅助部分为信号处理电路部分。光学测头最重要的性能之一是系统的分辨力，而光学结构是保证系统分辨力的核心。光学结构分为两个部分进行设计：1）多光束干涉；2）共焦显微。其中多光束干涉用于保证系统的轴向分辨力，共焦显微技术用于快速准确的寻找系统工作区域和为下一步的横向分辨力测试做技术积累。信号处理电路分为三种：1）光电转换电路；2）信号调理电路；3）滤波电路。光电转换电路用以实现光强信号到电压信号的转变，信
其他文献
机翼承担了飞行器大部分的升力和一定比例的阻力，它是飞行器最重要的部件之一，所以对机翼进行气动优化以实现增升减阻的目标是极其重要的。对于民航客机而言，机翼升力的提高和阻
班主任是班级管理的核心引导者、组织者和实施者,是学生健康成长的引路人,是联系班级任课教师,沟通学校与学生家庭以及社会教育力量的桥梁. 要搞好农村小学的教育,必须得注重
近年来，微细加工技术快速发展使得产品的导向趋于微型化，出现各种微型机械和MEMS器件。这些微型机械的几何特征尺寸在数十微米至数毫米之间、尺寸精度在数十纳米至数百纳米。受限于测球尺寸和测头系统的性能，传统三坐标测量机无法满足这些器件的精密测量要求，虽然原子力显微镜（AFM）和扫描隧道显微镜（STM）在纳米尺度上可以用来进行微器件、微结构的表面形貌检测，但是测量范围受到很大的限制，因此发展体积小、精度
情绪理解能力作为个体社会性交往所需的关键能力,对提高智力障碍学生的适应能力尤为重要,但如何开展智力障碍学生情绪心理教学的研究仍偏少.绘本是一种图文结合的图画故事书,
后进生是指思想行为、学业成绩、自控能力等方面低于合格水平,存在这样或那样的问题和缺陷的学生. 小组合作学习是当前众多教师课堂教学的重要组织形式之一,在课堂教学中,小
虚拟仪器技术在存储测试领域中应用广泛,而虚拟仪器的核心在于软件设计,现代存储测试领域中虚拟仪器相关软件主要用于广义的数据处理。基于工程中被测对象的多样性、测试环境
本文根据VME总线嵌入式控制器的硬件设计和MPC8349E主控芯片的结构特点结合VxWorks系统框架，完成了一种VME总线嵌入式控制器VxWorks系统BSP定制方案设计，并实现了整个系统移植
通常APU与飞机之间通过隔振器隔离两者之间振动和相互影响。高阻尼橡胶材料属于粘弹性材料，被广泛地应用于隔振器之中。传统的粘弹性模型在预测橡胶的动力学响应时显得很不精
数字化测量技术在口腔修复医学领域的应用使原本繁琐、粗糙、耗时的手工方式向简单、精确、高效的数字化流程转变，不但提高了口腔修复的质量，而且减轻了患者治疗的痛苦。本文结
最近一段时间我一直在想,作为一名班主任,一名合格的班主任,首先应该具备什么? 可能有人会说:是渊博的知识、是爱. 这些我都赞同,但我觉得最应该具备的是强烈的责任心,责任感