蓝宝石整流罩减反射薄膜的工艺研究

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导弹是现代战争中的重要武器,大部分新型导弹都已采用了红外热成像制导技术。红外整流罩是导弹的关键部件之一,但由于其使用环境苛刻,所以要求整流罩必须具有良好的光、机、热性能。蓝宝石的光、机、热性能优良,是制造导弹整流罩比较理想的材料。但是,蓝宝石材料的透射率偏低是制约导弹热成像质量的一个主要因素,减少蓝宝石整流罩的表面反射率是提升导弹性能的一个有效办法。本文研究利用真空镀膜技术在蓝宝石基底上制备中波红外高效减反射薄膜,以提高蓝宝石整流罩的光学性能。论文的主要研究内容:设计在蓝宝石基底上制备中波红外高效减反射薄膜膜系,对膜系进行分析和评价,利用离子辅助沉积(IAD)真空镀膜技术制备出该膜系样品。对样品按军用光学零件检验标准进行环境实验和检测。检测结果显示样品各项性能符合检验要求,基本达到理论设计目标。研究表明,我们所采用的离子辅助沉积(IAD)真空镀膜技术制备出的整流罩符合军用光学器件检验标准,薄膜的光学性能、机械强度和稳定性良好,据有一定的应用参考价值。
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