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铁电SBN60薄膜的制备及性能研究

被引量 : 2次 | 上传用户：yuhaolf

【摘要】

：

本论文探讨了SBN60薄膜的溶胶-凝胶(Sol-Gel)法以及脉冲激光沉积(PLD)法生长技术及其原理。在Sol-Gel法制备中，分别用NbCl_5，KOH和Nb(OC_2H_5)_5作为Nb醇盐的先驱物制备出SBN60前驱溶液，随后在1000℃的退火温度下，在Si(100)与MgO(001)衬底上生长出高度C轴择优取向的SBN60铁电薄膜。用X射线衍射仪(XRD)、原子力显微镜(AFM)、二次离

【作者】

：

【机构】

：

浙江大学

【发表日期】

：

2005年01期

【关键词】

：

铌酸锶钡铁电薄膜硅(100)衬底 MgO(001)衬底溶胶-凝胶脉冲激光沉积择优取向电光系数光波导

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本论文探讨了SBN60薄膜的溶胶-凝胶(Sol-Gel)法以及脉冲激光沉积(PLD)法生长技术及其原理。在Sol-Gel法制备中，分别用NbCl_5，KOH和Nb(OC_2H_5)_5作为Nb醇盐的先驱物制备出SBN60前驱溶液，随后在1000℃的退火温度下，在Si(100)与MgO(001)衬底上生长出高度C轴择优取向的SBN60铁电薄膜。用X射线衍射仪(XRD)、原子力显微镜(AFM)、二次离子质谱(SIMS)、受激拉曼散射、扫描电子显微镜(SEM)、透射电子显微镜(TEM)、阻抗分析仪、铁电测

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