论文部分内容阅读
近几十年来,非晶碳(a-C)膜因其优良的机械性能、耐摩擦磨损性能以及良好的生物相容性获得了大量的研究,并广泛应用于机械、航天军工、生物医学等领域。但是本征非晶碳膜较高的内应力限制了膜厚度的提升并损害了膜-基之间的结合力。本文通过在基体与非晶碳膜之间构筑过渡层以及采用元素掺杂的方法来降低非晶碳膜的内应力,并研究了薄膜微观组织结构与宏观机械性能之间的变化规律和内在机理。超高分子量聚乙烯(UHMWPE)由非极性分子构成,较低的表面能以及分子的惰性限制了其与非晶碳膜之间结合力的提升,进而束缚了其在很多领域的应用。本文通过等离子体处理对超高分子量聚乙烯进行了表面改性,并研究了等离子体改性后UHMWPE在表面形貌、接触角、表面硬度、摩擦系数等方面发生的改变。采用非平衡磁控溅射设备在经过等离子体改性处理后的UHMWPE表面制备出厚度约900 nm的非晶碳膜,相较于超高分子量聚乙烯基体,镀膜后表面硬度从47 MPa提升到了720 MPa,1 N载荷下在小牛血清溶液中的磨损率从9.82×10-15 m3N-1 m-1下降到了4.78×10-15m3N-1 m-1,此外,通过对比试验发现,相较于没有过渡层的薄膜,具备过渡层的非晶碳膜展现了更好的膜基协调变形能力和更高的承载能力。通过控制基体距离碳靶和钼靶之间的距离,采用非平衡磁控溅射设备在超高分子量聚乙烯(UHMWPE)基体表面制备了不同钼含量的掺杂非晶碳膜(钼原子含量比:5.5%,8.6%,29.6%,2.7%),研究发现,不同的掺杂比例会深刻影响表面的形貌,同时,低比例掺杂和高比例掺杂都具备较高的硬度和较低的摩擦系数,但是低比例掺杂具备更优异的耐磨损性能。2.7%钼掺杂的非晶碳膜硬度、摩擦系数以及0.2 N载荷下在小牛血清溶液中的磨损率分别为:0.95 GPa、0.035和1.39×10-14 m3 N-1 m-1,具备最优异的综合性能。