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加速度计是一种惯性传感器件，主要针对结构的惯性力、倾斜角、外界冲击以及振动等惯性参数的测量。本文研究的加速度计是基于体硅制造工艺，虽然这种工艺技术的发展越来越成熟，但是不得不承认该制造技术依然存在很多的缺点和不足。微电子加工过程中经常需要利用掺杂技术来改变材料的电学性质，形成电子设备所需要的半导体器件，其中硼掺杂技术是应用最广泛也是最成熟的掺杂工艺，但是由于在硼掺杂过程中，硼原子代替硅原子带来的材料性质的变化将会对结构产生一定的影响，诸如内部应力，掺杂浓度以及晶体缺陷等因素，这些因素均会导致