弹性复合薄膜的制备与表征以及纳米摩擦学特性研究

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【摘要】

：

随着纳米科学技术的迅速发展，特别是微电子机械系统和高速磁记录技术的迅速发展，迫切需要解决纳米级的润滑和零磨损问题，表面改性技术是解决这一问题的有效途径。本文中，我们根据多层复合弹性纳米薄膜涂层系统由不同弹性模量薄膜组成从而抑制能量损耗的设计思想，将分子自组装方法、脉冲磁过滤阴极真空弧源沉积(FCVA—Filtered Cathodic Vacuum Arc)方法和化学气相沉积(CVD)方法结合，借

【作者】

：

石超燕

【机构】

：

江苏大学

【发表日期】

：

2007年01期

【关键词】

：

弹性复合薄膜 AFM XPS Raman 力学性能摩擦性能

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