微型化和智能化是近代工业和科技的主要发展方向。而微光学是研究尺度在微米量级上的光学功能器件以及表面微结构,微透镜扫描器是基于微光学提出的一种新的扫描方式,也是激光扫描结合MOEMS技术的一个典型的研究方向。它具有扫描频率高,制作工艺简单,灵巧轻便等优点,广泛应用在激光雷达扫描,亚像元技术,和分视场成像领域。在微透镜扫描器的研究过程中,有关微透镜器件的光学设计和制作是一个重点,直接关系到扫描器的扫描性能。本文从微透镜扫描的原理模型、理论分析和实验制作三个方面讨论了微透镜扫描器的实现。首先,分析了微透镜扫描的工作原理,列出了几种常用的透镜组合形式,包括宏观透镜组合,正正微透镜组合,正负微透镜组合,并分别分析了它们各自的优缺点。之后,介绍了微透镜扫描器的驱动方式。其次,采用光学设计软件ZEMAX对微透镜扫描器的扫描角度和远场光斑进行了模拟分析。在分析扫描角度的时候,选取了两种不同的折射率,分别对它们在不同透镜尺寸、不同曲率半径的情况进行了模拟,确定了透镜尺寸、曲率半径和材料折射率对微透镜扫描角度的影响方式。在分析远场光斑的时候,选取了平行光入射和小发射角度的激光入射两种情况进行分析,并分别对它们在不同面型(球面和非球面)情况下进行了模拟,确定了微透镜面型和入射光平行度对远场光斑尺寸的影响情况。接着,开展了微透镜制作的试验,分析了光刻、热熔、刻蚀的过程,列出了试验数据、结果。并提出了扫描器的测试方案。最后,列举了微透镜扫描器在激光雷达扫描,亚像元微扫描技术,和分视场成像领域的应用。其中重点分析了其在分视场成像领域的应用,对其原理、光路和各部分参数做了详细的说明。