随着大口径平面光学元件在科技领域的广泛应用,其面形高精度检测常采用干涉测量来完成。菲索干涉是具有代表性的干涉检测方法,其检测精度主要由干涉仪标准镜的面形精度决定。当被检光学元件的面形精度与标准镜面形精度处于同等水平时,标准镜的面形误差会对测量结果产生较大的影响。随着光学元件口径增大,标准镜装夹变形会对检测精度产生更显著的影响。为了获得更高的检测精度,须补偿干涉系统的系统误差。通过研究绝对检测技术得到标准镜的面形误差,并结合有限元法分析标准镜的装夹变形,消除标准镜面形误差及变形对测量结果的影响。首先完成Zernike多项式拟合法、奇偶函数法以及N次旋转法的理论分析,编写仿真程序模拟检测流程,分析检测方法的理论计算精度。对比后选取计算精度较高的N次旋转法作为目标检测方法;从而分析旋转次数及标准面面形精度对N次旋转法仿真精度的影响。其次,使用有限元法仿真320mm口径标准镜在不同装夹方式下产生的变形,针对侧面胶点支撑的装夹方式,分析不同胶点个数、不同胶点大小产生的装夹变形,获得装夹变形量化的理论结果。再次,分析装夹变形对N次旋转法仿真结果的影响,提出一种在大口径平面干涉测量过程中补偿系统误差的方法。最后,基于大口径干涉仪开展实验研究,针对320mm口径标准镜进行N次旋转绝对检测,获得标准镜装夹变形量并完成装夹变形补偿,得到320mm标准平面测量结果的残余误差PV值偏差小于3.34nm。通过理论推导、仿真分析和实验测量,验证了N次旋转绝对检测方法和大口径标准镜装夹补偿方法的可靠性,为大口径高精度光学元件面形干涉检测提供了重要补偿方法及技术支持。