【摘 要】
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本论文研究了可用于超高密度垂直磁记录介质的NdFeB薄膜。由于四方Nd2Fe14B相的高单轴磁晶各向异性能(107erg/cm3)，可以允许把晶粒尺寸降低到几个纳米左右，同时保持足够的
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本论文研究了可用于超高密度垂直磁记录介质的NdFeB薄膜。由于四方Nd2Fe14B相的高单轴磁晶各向异性能(107erg/cm3)，可以允许把晶粒尺寸降低到几个纳米左右，同时保持足够的热稳定性，从而可以获得更小的记录信息单元，以实现更高的记录密度。
本论文实验上获得的最佳NdFeB薄膜的成分结构为W(5nm)/Nd158Fe662B120Cu10Al50(15nm)/W(60nm)，其性能参数为：Md≈710emu/cm3,S⊥≈1,A∥≈0.1，Hc⊥=4.8kOe，Hc∥=0.7kOe，＜D＞=22nm，Ra=2.5nm，α=2.8。可见该薄膜非常具有作为下一代超高密度垂直磁记录介质的潜力。
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