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静压气体轴承因具有摩擦小、精度高、热稳定性好、寿命长等优点而广泛应用于微电子制造装备、超精密数控机床、三坐标测量机、精密转台等制造、测量和检测领域。但极紫外曝光、电子束曝光、薄膜测厚和线宽测量等制造和测量操作,不仅要求测量装备具有极高的运动定位精度,而且必须在真空或超洁净环境中进行操作。但真空中静压气体轴承性能变化显著,更需要关注的是所排放的润滑气体将会污染真空环境,而现有常规环境下静压气体轴承的性能检测装置无法满足真空环境下静压气体轴承性能检测实验的需要。为此,本文设计了真空环境下静压气体轴承的性