静压气体轴承因具有摩擦小、精度高、热稳定性好、寿命长等优点而广泛应用于微电子制造装备、超精密数控机床、三坐标测量机、精密......

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在真空排气系统的设计中,双工位切换设备——小车式水平移动弯管经常因厂房空间小、工艺复杂、物料运输困难等因素而无法布置,严重......

本文是法国 Ａｌｃａｔｅｌ公司 Ｐ·Ｄｕｖａｌ博士于 １９８４年来华时在技术交流座谈会上的报告文稿。文章以人、机安全，排气设备的选择为主题较详细地叙述了在等离......

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