随着科学技术的发展及人们对高科技产品精度的要求不断提高,精密化成为工业发展的趋势,而深小孔、微小零件是精密化过程中的必然需求,因此微细加工技术的研究越来越成为机械加工领域的一个热门研究方向。相对于传统加工,微细电解加工方法具有无切削应力、无工具损耗及排屑等特点,可实现微细孔的加工。但目前微细孔电解加工存在孔锥度大、深径比小、杂散腐蚀严重等问题,限制了电解加工的应用与发展。本文在对电解加工相关理论学习及前人研究的基础上,制备了微细螺旋电极及盘状群电极,并以制得电极为工具阴极进行电解加工实验,研究了影响加工精度、加工速度、加工稳定性等的主要因素及变化规律。本文主要工作和成果如下:1、基于电化学腐蚀法对工具电极成形机理进行研究,采用合理的加工参数,制备出形状尺寸良好的微细盘状电极和带有螺旋槽的工具电极。2、采用有限元分析法对电解加工过程中的电场进行模拟仿真,从理论上证明了盘状电极在电解加工中优于传统柱状电极。并进一步通过盘状和圆柱状工具电极微细孔电解加工对比试验,论证了盘状电极在减小孔侧壁的电场强度、减小侧面加工间隙和杂散腐蚀程度、降低孔锥度、提高电解加工的定域性等方面的优越性。实验研究了盘状工具电极下,不同电解液浓度、加工电压、电源性质、脉冲占空比等工艺参数对孔径、孔锥度及加工速度等的影响规律。3、采用盘状工具电极进行大长径比微小孔电解加工研究,并辅以工具阴极超声振动,有效的提高了微细电解加工的效率、加工精度和加工稳定性,并在厚度5.4mm的304不锈钢板上加工出入口直径为440μm、出口直径为320μm的微小孔,平均侧面加工间隙为57μm,其锥度仅为0.022,孔的深径比>10。4、为了满足工业领域的应用并进一步提高深孔电解加工效率,采用有限元优化方法,制备出直径较均匀的微细盘状群电极,并以制得的盘状群电极为工具阴极在厚度为3.8mm的304不锈钢板上加工出锥度为0.039的群孔。