【摘 要】
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在传统的氢氧化钾制绒碱中尝试制绒的新的工艺条件下,通过添加少量酸及表面活性剂以提高硅片的制绒效果,其原理为酸能减缓碱与硅片反应的速率,同时酸类也可作为单晶硅制绒的
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在传统的氢氧化钾制绒碱中尝试制绒的新的工艺条件下,通过添加少量酸及表面活性剂以提高硅片的制绒效果,其原理为酸能减缓碱与硅片反应的速率,同时酸类也可作为单晶硅制绒的成核剂,增加金字塔的成核起点,同时增加水溶液对硅片的润湿性,使硅片制绒后得到的表面金字塔更加密集。以氢氧化钾,无水乙醇为基本的反应体系,研究了在不同的KOH浓度,反应时间和温度下制绒得到的绒面效果,以获得最佳的KOH浓度,反应时间和反应温度。然后在此最佳条件下添加一定的酸和表面活性剂作为制绒添加剂。研究在不同的工艺条件下,如不同的KOH浓度,制绒时间和温度等对制绒效果的影响,得到KOH质量浓度为1.5%,制绒时间为60min,制绒温度为80。C时,制绒得到的硅片的反射率最低,制绒后硅片的反射为制绒前的73.45%,绒面织构化理想。添加剂的加入对制绒有着进一步的促进作用:在制绒液中添加一定量的硼酸,磺酸,酒石酸,丙烯酸,乙二酸等,制绒得到的反射率较未处理过的硅片都有所降低;而添加混合酸制绒得到的单晶硅硅片的反射率更低。100ppm酒石酸和100ppm硼酸的混合酸制绒硅片的相对反射率为40.81%。在含有酸的制绒体系中添加一定量的表面活性剂,如PEG400,明胶,山梨醇,十二烷基磺酸钠,甲基纤维素,制绒后得到硅片表面的金字塔尺寸小且均匀的绒面结构,其反射率更低,其中添加明胶的制绒可将硅片表面反射率降低为原始硅片的64.32%。
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