飞秒激光加工由于其脉冲时间短、加工精度高、热影响区小等优势,逐渐成为材料表面改性加工的新趋势。本文利用飞秒激光直接诱导烧蚀加工与飞秒激光诱导前向转移法对航空发动机材料GH4169镍基合金样品表面进行精细加工处理,主要研究内容如下:使用电子束蒸镀设备寻找最佳制备条件,控制蒸镀时长与束流大小,制备了符合实验要求的NiCoCrAl-Y₂O₃薄膜与SiC薄膜,并发现了蒸镀时长与薄膜厚度的近似正比关系。利用XRD衍射对两种薄膜分别进行分析,发现源物质在蒸镀过程中,因为吸收热量导致分子结构被破坏,产生了由晶态到非晶态的变化。使用飞秒激光加工设备对镍基合金样品表面进行诱导烧蚀加工,改变激光功率、扫描速度与离焦距离等变量得到不同条件下的烧蚀痕迹。利用共聚焦显微镜观察烧蚀痕迹线宽与形貌,总结各个变量的不同影响,发现合金样品随着样品表面吸收能量的增加而逐渐呈现出更为剧烈的烧蚀形貌。采用激光诱导前向转移法对镍基合金样品进行NiCoCrAl-Y₂O₃薄膜与SiC薄膜转移。探究激光功率、扫描速度与离焦距离等变量对薄膜沉积形貌、沉积线宽与沉积量等结果的影响。通过减小扫描速度或增加离焦距离来满足激光光斑的良好搭接,以得到连续且完整的薄膜沉积。此外,使用更高频率的飞秒激光重复上述实验,分析飞秒激光频率的增加对实验结果的影响以及高频率飞秒激光在激光诱导烧蚀与激光诱导前向转移实验中应用的可行性。使用飞秒激光加工技术探索GH4169高温镍基合金表面改性技术,能为今后的进一步研究奠定基础,并使该合金在航空航天领域内获得更为广泛的应用。