光波导阵列电光扫描器具有扫描速度快、驱动电压低、扫描范围大等优点。论文根据实际工作的需要，理论和实验研究影响光波导阵列电光扫描器工作特性的相关参数及改进方法。1.介绍了光波导阵列电光扫描器的工作原理，分析了光波导结构参数与波导内场分布关系。2.建立了基于10层光波导阵列的光束扫描系统，理论和实验研究了影响光波导阵列扫描光场特性的因素，对系统电路控制部分进行了电压校准测试，给出了误差小于0.001V的波导阵列加载电压方案。3.对不同电控方式进行了光束扫描实验研究，验证了2π加电方案相对一般加电方案能够有效增大光束扫描角度，降低光束扫描误差的结论。4.研究了光波导阵列电特性对光束扫描的影响，实验改进了光束扫描结果；测量了系统的光束扫描速度，结果表明该光波导阵列电光扫描器的扫描频率范围为10Hz~400kHz，扫描角度达到13.3°。