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来源 :中国科学院半导体研究所 | 被引量 : [!--cite_num--]次 | 上传用户:[!--user--]
【摘 要】
:
内嵌Al氧化物限制条(ACIS)的边发射激光器,能够综合脊波导结构(RWG)和掩埋异质结结构(BH)的边发射激光器的优点而避免它们的缺点,是一种很有前途的边发射激光器.但是,国际上
【作 者】
:
刘志宏
【机 构】
:
中国科学院半导体研究所
【出 处】
:
中国科学院半导体研究所
【发表日期】
:
2004年期
【关键词】
:
内嵌Al氧化物限制条
边发射激光器
湿热氧化
光电子器件
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