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【摘 要】
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半导体制造产业是当代信息产业的支柱,对促进经济和科技发展具有重要的战略意义。在晶圆制造业中,随着晶圆尺寸不断增加,晶圆线宽不断减小,晶圆制造过程中需要更严格的质量控制。为了提升腔室洁净度而改善晶圆的质量,组合设备需要对腔室进行清洗以消除腔室内的化学残留物质。当组合设备的腔室加工完成预定的一枚晶圆后,需对腔室进行清洗,这时称为吹扫操作。考虑到吹扫操作时,适用于单臂组合设备的传统拉式策略将不再是最优的
【机 构】
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江西理工大学
【出 处】
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江西理工大学
【发表日期】
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2021年01期
【基金项目】
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国家自然科学基金:“混流晶圆加工自动化组合设备建模与调度优化”（51665018）；
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