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【摘 要】
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自1997年IBM公司发布了可用于集成电路生产的铜布线工艺后,铜互连逐渐占据了集成电路生产的主导地位。但随着集成电路设计水平和特征尺寸的不断发展,器件尺寸越来越小、集成
【出 处】
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云南大学
【发表日期】
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2004年期
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