论文部分内容阅读
近年来黄光激光器在军事、民用、医疗等方面的应用日益广泛，因而对激光器中腔面膜的研究就显得尤为重要。本文针对黄光激光器使用要求，以Nd:YVO4为基底，选用Ta2O5和SiO2作为高、低折射率材料在589微米、1064微米、1178微米、1342微米处分别镀制符合使用要求的多波段高精度滤光片。本文重点分析了膜厚监控误差对测试结果的影响，并通过改变敏感层的修正系数和优化工艺参数（如温度、充氧量等）等方法提升了薄膜的整体控制精度，进而减小了控制误差对滤光片光谱特性的影响。最终制备出满足黄光激光器使用要求的滤光膜。