铝掺杂的氧化锌透明导电膜性能的研究

来源 :苏州大学 | 被引量 : 0次 | 上传用户：rust123

【摘要】

：

该文使用脉冲激光沉积法、电子束蒸发沉积法制备了铝掺杂的氧化锌透明导电膜.利用脉冲激光沉积法制得了高的透光率、低的电阻率、高度C轴取向的ZnO:Al薄膜.脉冲激光源采用波

【作者】

：

葛水兵

【机构】

：

苏州大学

【出处】

：

苏州大学

【发表日期】

：

1997年期

【关键词】

：

导电膜 ZnO:Al膜脉冲激光沉积电子束蒸发沉积

下载到本地 , 更方便阅读

下载此文赞助VIP

声明 : 本文档内容版权归属内容提供方 , 如果您对本文有版权争议 , 可与客服联系进行内容授权或下架

论文部分内容阅读

该文使用脉冲激光沉积法、电子束蒸发沉积法制备了铝掺杂的氧化锌透明导电膜.利用脉冲激光沉积法制得了高的透光率、低的电阻率、高度C轴取向的ZnO:Al薄膜.脉冲激光源采用波长为248nm的KrF气体,激光束的能量密度为7.0J/cm<2>,频率为5Hz.结果表明:基片温度影响膜的载流子浓度、迁移率、以及膜的结晶程度.在基片温度为200℃附近沉积的膜具有高的透光率和低的电阻率,是一最佳温区.

其他文献

智能化功率超声发生器的研制

该论文研制了一种新型智能化功率超声发生器.通过采用单片微机作为测量控制系统的核心进行数字化设计,并采用了电子技术和功率电子技术的新成果,使仪器具有以下创新之处:1.仪

学位

智能化超声发生器数字控制器单片微机

多原子分子振动谱研究

学位

分子光谱分子结构光谱学理论分析振动光谱多原子分子

核爆轰ICF中子测温信号反卷积理论研究

学位

惯性约束聚变中子测温反卷积误差分析

一类振荡电路模型中的"映孔"及其导致的动力学行为