基于孔阵列的金属网格各单元之间相互耦合,金属中自由电子与入射电磁波发生共振,形成增强透射,共振波长由结构尺寸决定,因此基于孔阵列的金属网格结构常常作为带通滤波器。但金属网格在带外短波长区域存在旁瓣,严重影响滤波性能。旁瓣主要是由衍射、F-P共振和高阶共振三种因素造成的。本文设计了一种基于十字孔阵列结构的改进结构,来改善旁瓣问题。本论文主要工作包括以下两点。(1)设计了基于折叠十字孔阵列的金属网格带通滤波器。结合已有的相关理论,包括表面等离子激元理论、等效表面等离子激元、Wood异常、F-P腔原理、波导效应等,通过有限元仿真,发现短波区域旁瓣是由衍射、高阶共振峰、F-P共振峰组成,高阶共振的波长与主共振的波长是相对固定的,F-P共振峰的位置与网格厚度有关,衍射区域是波长小于周期的区域。折叠十字孔阵列主要是利用其紧凑的结构,使主共振峰与衍射区域尽量远离,实现在更大范围内良好的带外抑制。(2)对无基底金属网格带通滤波器的加工工艺进行研究。研究了其加工流程,并研制了二维周期结构的无掩模光刻系统,包括两个部分：1、设计并搭建了基于DMD投影成像的无掩模光刻系统的光路系统：2、研发了用于二维阵列扫描光刻的控制系统。采用SU-82010光刻胶和研制的光刻系统,按照相应流程,进行了光刻实验,然后通过电镀镍,成功制作了小规模阵列无基底金属网格结构。