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作为一种新型半导体激光技术,光抽运垂直外腔面发射激光器将光抽运固体激光器的一些优点与半导体激光器的波长、增益、散射和饱和等特性结合在一起,既能获得高功率输出,也能获得接近衍射极限的圆形输出光斑。另外光抽运垂直外腔面发射激光器也具有波长可调和可腔内倍频的特性,这使其在通讯和显示以及抽运光纤激光器等很多领域有广阔的应用前景,本论文根据垂直外腔面发射激光器的理论研究,对980nm光抽运垂直外腔面发射激光器进行结构设计和实验研究,并对其进行测试分析,重点分析了热管理。内容如下:
1)介绍了光抽运半导体垂直外腔面发射激光器(OPS-VECSEL)的物理机制。我们用一种点源近似方法来分析多层结构设计和特性。这种方法非常有效。
2)对制备光抽运垂直外腔面发射激光器的几个主要工艺流程进行深入研究,制备了腐蚀装置、焊接装置,并对焊接、腐蚀工艺和清洗工艺做了优化。
3)在实验基础上分析了光抽运垂直外腔面半导体激光器(OPS-VECSEL)的热管理,建立了一维静态热传导方程,并结合数学工具matlab解热传导方程,得出热沉的热导率及DBR热导率变化对器件温度的影响。
4)进行抽运试验,得到了初步的测试结果,并对所得结果进行分析,对所存在的问题进行深入研究,并给出解决方案,据此,对器件结构和实验工艺进一步优化。