随着印刷电路板上器件密度的增加,时钟频率的提高以及信号上升沿、下降沿的时间减小,为了保证设计的信号完整性和产品的一致性,对电路板上的无源器件进行准确的电磁表征变得十分重要。在高频设计中经常会使用到非同轴接口器件,比如表面贴装器件(SMD),如果要使用矢量网络分析仪进行测量就必须通过测试夹具连接,因此测量结果中就包含了测试夹具带来的误差,要得到精确的器件等效电路模型,必须去嵌测试夹具。目前基于麦克斯韦方程的数值方法在处理复杂结构的器件建模问题中已经成为比较常用的方法。本文以表贴电阻、电感、电容为例介绍微波无源器件的测量和等效电路模型提取方法。本文的主要工作是：1)对用于测量表面贴装器件的同轴测试夹具进行了设计和制作,测试夹具可以直接连接矢量网络分析仪和待测的表面贴装器件,开路和短路测试结构实测结果表明工作频率可以达到18GHz,同时建立了开路和短路测试结构的等效电路模型。2)利用两种测试方法对表面贴装的电阻、电感和电容器件进行了网络参数测试,两种测试方法分别为基于测试夹具的测试方法和基于商用阻抗分析仪的测试方法,并对两种测试结果进行了对比分析。3)使用ADS软件对电阻、电容和电感进行建模,并研究了相应的参数提取技术,模拟结果表明和测试结果吻合很好,验证了模型和参数提取技术的正确性。