反射型光纤氢气传感器及氢敏性能测试

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传统的基于电特性原理的氢气传感器已经被研制出来,并在空间技术及科研中都发挥了重大的作用,但在使用时,大多需外加电压,容易产生电火花,引起爆炸,而且受电磁波的干扰较大,结构复杂,对于氢气的测量,应用上具有一定的局限性。而光纤传感器采集的是光信号,不易产生电火花,对被测对象的干扰小、灵敏度高、体积小、重量轻、电绝缘性、耐腐蚀、耐高压、抗电磁干扰等众多优点,很适合于氢气浓度的检测。反射式光纤传感器是人们最早提出的并且研究的一种光纤传感器,当应用于氢气浓度的检测时其结构简单,工艺上易于实现,具有较好的实际应用前景。反射式光纤氢气传感器原理是当氢敏薄膜吸收氢气后,其反射率发生改变,从而引起光强的变化,通过检测光纤中光强的变化实现氢气浓度的检测。反射型光纤氢气传感器的研究主要包括反射型传感器理论研究、薄膜的氢敏机理研究、传感器的结构设计、光纤中光波的传播、氢敏薄膜的制备以及氢敏测试等方面的内容。本文通过理论分析,建立传感器光学模型,通过实验研究氢敏感薄膜的制备、设计传感器结构并进行传感器的制作及氢敏性能试验。主要进行了以下研究工作:1.反射型光纤氢气传感器的基础理论工作:介绍反射型光纤氢气传感器的基本原理,掺杂钯的WO3薄膜的氢敏机理。2.反射型光纤氢气传感系统的设计与相关部件的选型。3.掺杂Pd的WO3薄膜的制备及薄膜样品的结构、表面形态、光学特性等,结合机理进行分析。4.氢敏实验研究:建立测试系统,通过实验研究光强与氢浓度的关系,从而标定氢气的浓度。
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