论文部分内容阅读
在我们的日常生活中,紫外线无处不在。紫外光电探测器一方面可以为紫外线的调控做出参考,例如在涂料固化机、医疗床、消毒柜中的应用;另一方面可以作为探测器或者预警器,例如在军事、宇航、臭氧层保护、火灾预警中的应用。紫外光电探测器分为真空紫外探测器（主要指光电倍增管）和固态紫外探测器（主要指半导体光电二极管）。由于固态紫外探测器与真空紫外探测器相比,具有不易破损、体积小、能耗低、效率高、利于集成等优点,所以固态紫外探测器成为紫外探测器的研究热点。传统的固态紫外探测器材料有半导体硅、化合物砷化镓、磷化铟等等,然而由于这些材料禁带宽度较小,工作温度较低,基于它们制备的紫外光电探测器在应用上受到很多限制。近些年,新型宽禁带紫外光电材料的发展使得制备抗高温,抗辐射,高功率以及高度集成的紫外光电探测器成为可能。现在紫外光电探测器的主要研究方向有两个方面:一、完善已有的宽禁带紫外光电材料,提高其紫外光电探测器性能;二、发现新的宽禁带材料,开发其在紫外光电探测器领域中的应用。本论文的工作包括两个方面:一是基于氧化镓纳米线的紫外光电探测器的制备和研究;二是基于（LaAlO3）0.3-(SrAl0.5Ta0.5O)3)0.7（LSAT）的紫外光电探测器的制备和研究。在氧化镓纳米线紫外光电探测器的研究中,我们用溶液旋涂法代替了传统的贵金属薄膜加热退火的方法,降低了制备样品的能耗,同时提高了效率。其次,鉴于Au颗粒在氧化镓纳米线生长过程中不可缺失的重要性,和在扫描电镜中纳米线头部没有观察到金颗粒存在,我们提出氧化镓纳米线CVD生长是基于气液固和气固混合模式。然后,我们在氧化镓纳米线网络上制备了叉指电极,测试了其光电性能,该光电探测器具有光电灵敏度高、噪声低、响应时间快等优良性能,这说明氧化镓纳米线作为一种宽禁带紫外光电探测器材料,具有很好的应用前景。在（LaAlO3）0.3-(SrAl0.5Ta0.5O)3)0.7（LSAT）单晶紫外光电探测器的研究中,通过微加工技术制备了基于LSAT的紫外光电探测器,并对该探测器做了一系列光电性能测量,测试结果表明,该探测器具有良好的日盲特性和超快的时间响应特性。此外还通过多个光电单元并联,增加了光电探测器的探测率。