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传统的太阳电池透明导电电极通常采用ITO或FTO,原料含量稀少、价格高且有毒,严重制约了太阳能电池的发展。氧化锌基透明导电薄膜具有与ITO或FTO相当的光电特性,但价格低廉,具有广阔的应用前景。在ZnO中掺入B,Al,Ga,In等杂质可以提高ZnO薄膜的电学特性,但Ga,In同样稀少且有毒,而掺Al的ZnO薄膜在潮湿环境中稳定性不佳,所以对掺B的ZnO薄膜的研究具有重要的现实意义。本文通过MOCVD制备了绒面BZO薄膜,研究了B含量和衬底温度对薄膜的晶格结构、表面形貌、光电特性的影响,并对参数进行了