激光干涉测距是指用激光束作为信息载体测量物体之间的绝对间距或相对位移,是目前进行精密间距测量的主流方法之一,被广泛应用于基础物理研究中的间距测量与控制。作者所在实验室近期一直在进行近间距非牛顿引力实验检验和Casimir效应研究,该类实验需对两物体间的间距进行精密测量和控制。本论文在充分调研各种激光测距方法的基础之上,考虑到测量信号与间距之间的线性要求,同时为了降低环境对测量结果的干扰,选择基于共光路的零差干涉仪,并利用正交测量法直接测量干涉位相来进行间距测量。本论文设计了分别通过间距调制和波长调制进行正交测量位相的方案。基于当前实验条件,进行了间距调制方案的间距测量和控制实验,完成了间距测量和控制的Labview程序编写,实现了精度小于1 nm的间距测量与锁定,并对相关误差进行了分析。考虑间距调制方案中调制间距本身所带来的误差以及调制幅度的限制,设计了正交测量法中的波长调制方案。在波长调制方案设计中,对激光波长调制方法、激光波长中心值的稳定要求和方法、激光功率稳定要求和方法进行了详细的分析,通过误差评估,给出了波长调制方案达到0.20 nm测量精度的可行性分析。