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干涉测量技术是以光波干涉原理作为基础的一门测试技术。现代干涉测量技术中采用激光作为光源,综合了光学、精密机械、电子学等新成就,得到了广泛的应用。面形干涉仪是光学元件面形检测中的重要设备,子孔径拼接技术是逐渐兴起的大型光学元件面形检测方法,子孔径拼接干涉仪在大口径光学元件检测中的应用也逐渐增多。本文以子孔径拼接干涉仪为研究背景,研究了子孔径拼接干涉的原理,根据拼接干涉仪的设计需求,给出了用于拼接干涉仪的精密五维运动台的设计指标。结合拼接干涉仪的具体要求,对精密五维运动台进行了方案设计和详细设计。利用有