现代工业加工中,产品尺寸越来越小,要求精度越来越高,促使现代加工方式向精细,稳定,环保的方向不断发展。本文对传统电火花加工做出改进,提出了一种以超声喷雾辅助加工的新型加工方式。该方式改善了其它喷雾加工中雾化颗粒不均匀,雾化效果不完全的缺点,同时由超声雾化的雾滴直接作用于加工区域不仅可以冲刷加工区域帮助排出加工碎屑,而且在雾化过程中产生的超声空化效应还有助于提高加工质量与效率。本文在总结国内外电火花加工发展现状以及发展趋势的前提下,结合传统电火加工原理,对超声喷雾加工过程中放电各过程进行了分析。设计了一套由超声电源与换能器组成的超声喷雾装置,超声电源以DSP2812为控制核心,主要包含BUCK电路、全桥变换、电火花放电间隙电压检测、超声换能器电压电流检测等模块。超声换能器采用一维振动理论设计,结合有限元软件进行验证与改进。完成了从方案设计、硬件电路实验、到软件功能调试的过程。在加工装置实现的基础上,对超声喷雾电火花加工进行了相应的实验研究。设置了两类加工实验,第一类为超声喷雾加工与传统浸泡(冲液)加工和空气中加工的对比实验,对比分析了三者在材料去除率(MRR),相对电极损耗率(EWR),加工稳定性等方面的区别。第二类为超声喷雾加工参数对比实验,研究了包括喷雾流量、加工过程中换能器驱动电压大小、驱动电压频率等参数对于加工结果的影响。实验结果表明,超声喷雾加工相比于冲液加工,有着更低的电极损耗率和相似的材料去除率,且材料去除率远高于空气中加工。喷雾加工结果随流量变化改变明显。在一定范围内,材料去除率随着流量的增大而增大,当超出该范围后,材料去除率上升不明显,而电极损耗率显著增加。超声电压与频率对于喷雾加工结果的影响是多重的,一般规律是,低频率与高电压对于加工材料去除率有提升,而高频率与低电压则有助于降低电极损耗率。同时本文进一步进行了孔加工的探索性实验,并在实验的基础上总结了超声喷雾加工的规律与适用范围,对于实际生产加工具有理论指导作用。