变压吸附法空分制氮技术研究与应用

来源 :低温与特气 | 被引量 : 0次 | 上传用户:ya4516623
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介绍了变压吸附空分制氮的发展概况、国内外发展现状、使用MS和CMS的PSA制氮工艺流程,叙述了装置的设计原则和工艺原理,进行了技术经济和投资比较,分析了不同工艺的适用条件.
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用Mg2Si制备SiH4必然伴随产生Si2H6.经二级低温冷凝 ,分子筛吸附和恒温恒压汽化等工艺技术过程,能够对两种气体进行最有效的分离 .并且可以制备Si2H6和总杂质含量≤10×1