【摘 要】
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采用磁控溅射法制备铜锌锡(CZT)金属预制膜,再利用固态硫化法制备了Cu2ZnSnS4(CZTS)薄膜。研究了CZT金属预制膜中Sn的原子数分数对CZTS薄膜的化学成分、结构组织和光学性能的
【基金项目】
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广东省联合培养研究生示范基地人才培养项目(2013JDXM27);高等学校博士学科点专项科研基金资助项目(20124420110007)
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采用磁控溅射法制备铜锌锡(CZT)金属预制膜,再利用固态硫化法制备了Cu2ZnSnS4(CZTS)薄膜。研究了CZT金属预制膜中Sn的原子数分数对CZTS薄膜的化学成分、结构组织和光学性能的影响规律。结果表明:实验制备的CZT金属预制膜硫化后均能得到主相为CZTS的薄膜。在适当的范围内增加CZT金属预制膜中Sn的原子数分数可提高CZTS薄膜的结晶度,有利于生长均匀致密的CZTS薄膜;Sn的原子数分数过高时,硫化后制得的CZTS薄膜存在杂相Sn2S3。当CZT预制膜中各成分的原子数分数比为yZn/ySn=0.24,yCu/yZn+Sn=0.33时,固态硫化后可获得表面均匀致密、具单相的CZTS薄膜,该薄膜中yZn/ySn=1.15,yCu/yZn+Sn=0.92,光吸收系数达104 cm-1,光学带隙为1.52 eV。
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