压电陶瓷等离子喷涂技术与应用基础研究

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介电压电陶瓷材料等离子喷涂工艺方法的概念及用此法制作压电陶瓷元件的方法。用这种技术制作的压电元件具有体积小,无需粘等特点,尤其适合于大面积压电传感元件和压电作动元件阵列的制作 。
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