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期刊论文
电化学腐蚀法制备微细群圆柱
电化学腐蚀法制备微细群圆柱
来源 :机械科学与技术 | 被引量 : 0次 | 上传用户:llllljjjjjxxxxx
【摘 要】
:
提出了微细群圆柱结构电化学腐蚀加工法及其形状和尺寸控制方式。根据电化学腐蚀基本原理,通过有限元分析计算群圆柱电化学腐蚀加工过程中的电场分布,优化设计阴极形状。开展了
【作 者】
:
王磊
朱荻
曲宁松
王明环
【机 构】
:
南京航空航天大学机电学院
【出 处】
:
机械科学与技术
【发表日期】
:
2007年7期
【关键词】
:
微细加工
电化学腐蚀
有限元分析
微细群圆柱
阴极形状设计
electrochemical etching method
FEA
multiple cyli
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提出了微细群圆柱结构电化学腐蚀加工法及其形状和尺寸控制方式。根据电化学腐蚀基本原理,通过有限元分析计算群圆柱电化学腐蚀加工过程中的电场分布,优化设计阴极形状。开展了电化学腐蚀法制备微细群圆柱结构的工艺试验,获得了良好的试验结果。
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