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催化氧化法除去ＶＯＣ被认为是很有效的去除ＶＯＣ的方法。它能在相对低的温度下进行操作去除ＶＯＣ率高，能回收废热且仅需简单的维护。因此催化氧化法是当前广为应用的一种方法。去除ＶＯＣ所用催化剂应具有的特性包括；低温下具有很高的活性；不易中毒；具有抗热性，使用寿命长，可再生重复使用；用过的催化剂不会成为污染源，回收后可作为有用的金属被重新利用。