【摘 要】
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锆钛酸铅（PZT）薄膜具有优异的压电性能,是制作微机电系统（MEMS）振动式能量收集器的理想材料。在溶胶-凝胶法制备PZT薄膜的过程中产生的残余应力会对能量收集器有负面影响。该文利
【机 构】
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重庆大学新型微纳器件与系统技术国防重点学科实验室,重庆大学微系统研究中心
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锆钛酸铅（PZT）薄膜具有优异的压电性能,是制作微机电系统（MEMS）振动式能量收集器的理想材料。在溶胶-凝胶法制备PZT薄膜的过程中产生的残余应力会对能量收集器有负面影响。该文利用X线衍射法对在退火温度分别为650℃、700℃、750℃、800℃下掺杂铌（Nb）和钴（Co）元素的PZT薄膜样品的残余应力进行了测定。实验结果表明,PZT薄膜样品中的残余应力表现为压应力,从650℃升高到750℃的过程中,随着退火温度的升高薄膜中的残余应力增大;直到750℃附近后,残余应力基本保持稳定。
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