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利用隧道电流对于位移的敏感性，可以制作高分辨率的加速度计。本文介绍了隧道加速度计的工作原理，特点及发展趋势。
隧道加速度计的发展概况
【摘 要】
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利用隧道电流对于位移的敏感性，可以制作高分辨率的加速度计。本文介绍了隧道加速度计的工作原理，特点及发展趋势。
【机 构】
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东南大学微电子中心
【出 处】
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电子器件
【发表日期】
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1999年3期
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