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使用有限元方法（FEM）分析了应变硬化的韧性薄膜／基底体系的锥形压痕过程．通过改变压人深度与薄膜厚度比．从0．01变化到0．85t得到了不同膜／基体系的力学响应，从而建立了压人深度、薄膜厚度和薄膜／基底弹性模量之问的无量纲关系．选取镍薄膜／低碳钢基底进行了纳米压痕试验，根据得到的无量纲关系。计算出了镍膜的弹性模量．同时与Sakai方法得到的结果进行了比较，发现两者之间很吻合。证明该方法切实可行．