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近几年来微型机电系统（ＭＥＭＳ）的研究到了高速的发展，而ＭＥＭＳ的工艺基础是微细加工技术。针对电铸（ＬＩＧＡ）技术所存在的缺点提出了紫外光电铸（ＵＶ－ＬＩＧＡ）技术，并研制了用于ＵＶ－ＬＩＧＡ技术的光刻设备，其中介绍了整机的设计要点，所解决的关键单元技术和实验结果。
UV—LIGA光刻设备研究
【摘 要】
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近几年来微型机电系统（ＭＥＭＳ）的研究到了高速的发展，而ＭＥＭＳ的工艺基础是微细加工技术。针对电铸（ＬＩＧＡ）技术所存在的缺点提出了紫外光电铸（ＵＶ－ＬＩＧＡ）技术，并研制了用于ＵＶ－ＬＩＧＡ技术的光刻设备，其中介绍了整机的设计要
【机 构】
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中国科学院光电技术研究所
【出 处】
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电子工业专用设备
【发表日期】
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2000年4期
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