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来源 :激光与光电子学进展 | 被引量 : [!--cite_num--]次 | 上传用户:[!--user--]
【摘 要】
:
利用电子束直写系统(EBL)和反应离子束刻蚀系统(RIE)制作了两级正交偶极分形槽样品,其中空气槽的宽度为0.12μm,两级正交偶极分形槽结构中第一级和第二级的臂长分别为1.8μm
【作 者】
:
孙梅
徐德刚
郭培源
姚建铨
【机 构】
:
北京工商大学计算机与信息工程学院,天津大学精仪学院激光与光电子研究所光电信息技术科学教育部重点实验室,
【出 处】
:
激光与光电子学进展
【发表日期】
:
2010年09期
【关键词】
:
偶极
光学特性
分形几何
传输矩阵
自相似性
分形结构
透射率
红外波段
透射峰
总体尺寸
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