【摘 要】
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激光超声的震动位移是在纳米级别,所以要检测到微弱的激光超声需要外差干涉系统有较高的灵敏度。为了提高测量精度对光路进行了改进,采用双光路外差干涉仪增强系统抗环境干扰
【机 构】
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中北大学信息与通信工程学院,中北大学电子测试技术重点实验室,中北大学仪器科学与动态测试教育部重点实验室
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激光超声的震动位移是在纳米级别,所以要检测到微弱的激光超声需要外差干涉系统有较高的灵敏度。为了提高测量精度对光路进行了改进,采用双光路外差干涉仪增强系统抗环境干扰能力,使用3聚焦透镜增强干涉仪的聚光能力,提高进入干涉仪的光通量,从而提高精度;在光电探测器前加滤光片,滤除杂散光,提高系统信噪比。通过高频超声实验验证,该系统的位移分辨率能达到0.1 nm。
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