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2.1可靠性研究的进展在半绝缘SiC衬底上形成的GaNHEMT器件在高功率密度、高压工作、高的二维电子器浓度和高导热等方面均比GaAs有优势,但由于本征的材料与二维电子器形成所独有的特性也同时使它面临和GaAs不一样的、独具特色的,
发展中的GaN微电子（二）
【摘 要】
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2.1可靠性研究的进展在半绝缘SiC衬底上形成的GaNHEMT器件在高功率密度、高压工作、高的二维电子器浓度和高导热等方面均比GaAs有优势,但由于本征的材料与二维电子器形成所独
【机 构】
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中国电子科技集团公司
【出 处】
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中国电子科学研究院学报
【发表日期】
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2011年4期
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