论文部分内容阅读
高次谐波体声波谐振器（HBAR）具有高的机械品质因数（QM）和多模谐振谱特性,其在频率控制系统中具有重要应用.对制备的Al/ZnO/Au/Sapphire结构HBAR器件进行了QM的测定,从实际的测试系统出发,给出了它的等效电路,通过一系列分析处理得到了QM随频率的变化曲线.结果表明, QM随频率增加逐渐减小.