论文部分内容阅读
2011年全球微机电(Micro Electro Mechanical-System;MEMS)前4大厂依序为德州仪器(Texas-Instruments)、意法半导体(STMicroelectronics)、惠普(HewlettPackard;HP)、博世(RobertBosch),除惠普为系统业者外,其他3家厂商均为整合元件厂(IntegratedDeviceManufacturer;IDM)。