【摘 要】
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英国 Ion Vac 技术公司生产的 Chemetch 155型是一个平行板式等离子体增强化学气相淀积(PECVD)反应器,可将氮化物,氧化物和聚合物淀积到各种基片上。该设备能生产出没有针孔
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英国 Ion Vac 技术公司生产的 Chemetch 155型是一个平行板式等离子体增强化学气相淀积(PECVD)反应器,可将氮化物,氧化物和聚合物淀积到各种基片上。该设备能生产出没有针孔、有极光滑表面和优良介电特性的硬的、有粘附力的、光学透明的强交叉聚合的聚合
The Chemetch 155 from Ion Vac Technologies of the United Kingdom is a parallel plate plasma enhanced chemical vapor deposition (PECVD) reactor that deposits nitrides, oxides and polymers onto a variety of substrates. The device enables the production of hard, adhesive, optically clear strong cross-linked polymerizations without pinholes, with an extremely smooth surface and with good dielectric properties
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