【摘 要】
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类金刚石膜制备技术及在红外元件上的应用李福升，赵强，洪伟（航天工业总公司八三五八所天津３００１９２）类金刚石膜是一种性能极其优异的红外涂层材料。本文主要阐述在大型红外光学元件上沉积
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类金刚石膜制备技术及在红外元件上的应用李福升，赵强，洪伟（航天工业总公司八三五八所天津３００１９２）类金刚石膜是一种性能极其优异的红外涂层材料。本文主要阐述在大型红外光学元件上沉积类金刚石膜的工艺技术，以及类金刚石膜作为红外涂层在红外材料上的重要应用...
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