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【正】 由于半导体工业中大规模集成电路的持续发展,对其制造环境的洁净度的要求愈来愈高,因为粒子的污染已被认为是产品废品率的唯一来源。因此在集成电路的生产中把粒子的污染降到尽可能低的限度是十分必要的。一种可能的粒子污染源来自工艺所需的不同高纯瓶装气体,所以对高纯瓶装气体的粒子浓度测量和过滤是很重要的,本文将详细地研究对不同高纯瓶装气体的粒子浓度和它的过滤特性。